클린룸
크린룸이란?
실내의 작업환경, 주거환경으로서, 오염방지를 목적으로 청정도를 얻고, 유지관리 하는 것을 말하며, Clean Room에서는 청정도가 가장 중요하며 근래에 와서는 산업기술의 고도 발전으로 인하여 높은 청정도가 전산업 분야에 요구된다.
실내 공기중의 먼지, 미립자를 최소로 유지시키고, 실내의 압력 습도, 온도, 기류의 분포와 속도 등을 일정범위내로 제어하기 위해 만들어진 특수한 방을 CLEAN ROOM 이라고 합니다.
| 용어 | 설명 |
|---|---|
| 청정 | 먼지와 오염이 없는 깨끗한 상태 |
| 청정도 | 공간의 분위기 중 일정량의 공기중에 포함한 먼지나 오염의 정도를 말하며, 일반적으로 1ft3의 체적 공기에 포함된 먼지의 수로 표시 한다 |
| 청정등급(Class) | 청정실의 청정도를 구별하기 위해 규정한다 |
| 오염(Contamination) | 공정, 제품의 기능, 신뢰성 등에 결함을 일으키는 모든 것 |
| 먼지(Particle,dust) | 청정실내에 존재하는 모든 먼지 |
| 청정실(Clean Room) | 먼지가 제거되고 관리 유지되는 깨끗한 방 |
| 방진복(Smock, Clean Room Garment) | 사람의 몸에서 발생하는 먼지가 청정실로 빠져나가지 않도록 착용하는 의복 |
| 수율(Yield) | 생산된 제품 중 양품이 차지하는 비율 |
크린룸 기류방식
Clean Room의 사용목적, 청정도, 작업내용에 따라 기류방식은 수직층류, 수평층류, 비층류방식 3가지로 구분되며, 수직층류와 수평층류 방식은 Class 100~1000에 적용되며, 비층류방식은 Class 10,000~100,000에 적용된다.
수직층류방식
- Down Flow Clean Room
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천정면의 80% 이상을 HEPA Filter로 장착하여 층류를 취출시켜 바닥으로 순환하는 방법이다.
천정에서 취출된 천정공기는 최단거리로 환기되기 때문에 청정도 Class 10~1,000 에 제일 적합한 방법이다.
수평층류방식
- Cross Flow Clean Room
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벽면의 한쪽에 HEPA Filter를 설치하여 층류를 형성하여 취출시키고 반대측의 벽면으로 환기시켜 순환하는 방법이다.
청정도 Class 100~10,000 에 비교적 적합한 방식이다.
비층류방식
- Conventional Clean Room
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천정의 일부에 HEPA Filter를 설치하고 취출되는 공기를 가능한 한 바닥쪽의 벽면을 통하여 순환시킨다. 공조 닥트의 취출구에 필터유니트를 설치하는 것도 가능하다.
청정도 Class 10,000~100,000 에 적합하다.
