클린룸시스템
클린룸시스템
01
- 공조기/항온항습기
- 크린룸 내부의 온도와 습도를 특정 조건에 맞게 조절 및 유지하는 장치
02
- Hepa Filter Unit (HFU)
- 공조기/항온항습기와 연결되어 공조기/항온항습기에서 발생하는 공기를 받아들여 내부 필터를 통해 청정한 공기로 필터링 한 후 크린룸 내부로 토출하는 장치
03
- Blower Filter Unit (BFU)
- 크린룸 천장에 설치되어 외부 공기를 받아들여 필터를 통해 청정한 공기로 필터링 한 후 크린룸 내부로 토출하여 양압을 형성하는 장치
04
- Fan Filter Unit (FFU)
- 크린부스 천장에 설치되어 크린룸 내부의 청정한 공기를 받아들여 필터를 통해 더욱 청정한 공기로 한번 더 필터링 한 후 크린부스 내부로 토출하는 장치
05
- 에어샤워
- 크린룸으로 들어가기 전 청정한 공기를 고속으로 분사하여 의복이나 신체에 붙어있는 먼지를 털어주는 장치
06
- 크린부스
- 크린룸 내부에 설치되며 크린부스 천장에 설치되는 Fan Filter Unit으로 크린룸보다 더욱 청정하게 관리되는 공간
07
- 클린벤치
- 크린룸 내부 공기를 받아들여 클린벤치 상부에 장착되어있는 Fan Filter Unit을 통해 더욱 청정한 공기로 필터링 한 후 클린벤치 내부로 토출하여 무균, 무진 상태에서 작업이 가능하도록 하는 장치